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设备·技术

ESC与零部件

了解成就ICD世界首创的ESC与零部件自主技术、工艺与量产设备。

VERTICALLY INTEGRATED

连接设计、制造与表面处理的ESC技术。

通过与ICD Materials的垂直整合,快速开发并供应适配设备与工艺的ESC。

DISPLAY ESC

Dry Etch Advanced ESC

大面积干法刻蚀基板夹持与冷却解决方案
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SEMICONDUCTOR ESC

Semiconductor ESC

半导体工艺基板夹持与多区温控解决方案
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