SEMICONDUCTOR · DISPLAY · ADVANCED PACKAGEICD ブランドフィルム · 50秒ICD ブランドフィルム · 30秒

PRECISION IN THE INVISIBLE

世界初を、ICDのエッチングで。

世界初のCiMからOLED量産で実証された大面積エッチングまで、ICDは前例のないプロセスを半導体・先端パッケージング・ディスプレイ量産の標準へ変えます。

装置を見る ICDについて

ICDの精密プラズマ装置をご紹介します。

半導体・ディスプレイエッチングシステム

装置ポートフォリオ

装置で実証する、ICDのエッチング技術。

先端パッケージから半導体前工程、ディスプレイまで、量産現場で実証された装置をご覧ください。

装置の詳細を見る

先端パッケージングBDF Etcher

先端パッケージ向けビア・微細配線エッチング

プロセスビアホールプラズマ加工生産性高スループット均一性基板内・基板間

0108

ICD技術を見る

02WHAT WE ENGINEER

世界になかったエッチングを創り、
量産基準として証明します。

25年以上のOLED量産経験と独自プラズマ技術を一台の装置に統合。ソース、チャンバー、ESC、レシピを直結し、ICDならではのエッチング結果を実現します。

ADVANCED PACKAGE

パッケージ工程

HBM · RDL · GLASS

SEMICONDUCTOR

前工程エッチング

GAA · DRAM · LOGIC

DISPLAY

大面積量産

OLED · LTPO · OXIDE

03EQUIPMENT ARCHITECTURE

半導体からディスプレイまで。
一つのICDエッチング標準。

世界初のプロセスを量産へ導くICD独自の装置プラットフォームをご覧ください。

先端パッケージング

BDF Etcher

先端パッケージ向けビア・微細配線エッチング

BDFビア加工と微細ピッチRDL向けプラズマプラットフォーム

プロセス: ビアホールプラズマ加工
均一性: 基板内・基板間
生産性: 高スループット

BDF Via-Hole Plasma DrillingPost-Drill DesmearPost-Develop Descum

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先端パッケージング

CVD

先端パッケージ向け絶縁膜成膜ソリューション

高密度プラズマでプロセスガスを活性化し、生成した反応種が基板表面で化学反応を起こして絶縁薄膜を形成します。プロセス条件により微細構造の段差被覆性、膜質、膜厚均一性を制御します。

ソース: 高密度プラズマ
プロセス: 絶縁膜成膜
被覆性: 優れた段差被覆性

Fine-Pitch RDL PassivationTGV Dielectric Liner DepositionInterlayer Dielectric Deposition

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半導体前工程

Plasma Asher

低ダメージのレジスト・残渣除去ソリューション

デバイスを保護しながら残渣を除去する低ダメージアッシングシステム

プロセス: PR・残渣除去
ダメージ: 低ダメージ
温度: 低温プロセス

Photoresist Mask StrippingPost-Etch Polymer Residue CleaningPre-Process Adventitious Organic Contamination Removal

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01 / 03

04PROCESS CAPABILITY MATRIX

ディスプレイ量産で実証したプラズマ技術を、半導体前工程とガラスインターポーザへ展開します。

PROCESS / RPS + RIE

RPS + RIE

HYBRID ASHING

生産性とLow-k保護を両立するハイブリッドアッシング

PULSED RADICAL SOURCE
INDEPENDENT RADICAL / ION CONTROL
WIDE PROCESS WINDOW

05INSIDE THE PROCESS

世界初を可能にする
四つの精密制御。

プラズマ、真空、イオンエネルギー、温度を独立制御し、再現困難なプロセス結果を完成させます。

DENSITY10¹¹ cm⁻³10¹¹cm⁻³ LIVE CONTROL

01 / 04PLASMA SOURCE13.56 MHz

PLASMA SOURCE / CONTROL NOTE

独自のソース設計によりウェハ全面へ均一な高密度プラズマを形成し、プロセスダメージを抑えます。

ANSEONG · KOREA37°00'N / 127°16'E

06PROVEN IN PRODUCTION

世界初のアイデアを、
唯一の量産ソリューションへ。

安城の統合研究・製造キャンパスで、プラズマ源、プロセス、機構、制御を一体開発。設計と現場検証を重ね、新たなエッチング基準を築きます。

25+OLED量産パートナーシップ

900+納入チャンバー

4統合コア能力

ICDのエンジニアリングを見る

グローバルエッチネットワーク

世界初の技術を、量産現場のすぐそばへ。

安城から世界の顧客生産ラインまで、ICDチームがエッチング精度と量産信頼性を守ります。

12顧客本社

05展開市場

24/7現場対応

グローバル拠点を見る

ICD GLOBAL CUSTOMER NETWORKWORLD FIRSTS · CONNECTED BY ICD

世界の各大陸と主要顧客ネットワークを表示しています。

● 接続国お客様の量産成功を常に最優先に考えます。

顧客ネットワーク

世界のイノベーターと共に。

ディスプレイから先端パッケージングまで、ICDの技術は世界の顧客現場とつながっています。

韓国

SAMSUNG ELECTRONICS

LG DISPLAY

SAMSUNG DISPLAY

DONGWOO FINE-CHEM

グローバル

BOE

AUO

VISIONOX

CANON TOKKI

TIANMA

CSOT

HANNSTOUCH

ABSOLICSUSA · NEW CUSTOMER

世界初を、ICDのエッチングで。

装置で実証する、ICDのエッチング技術。