장비·기술

ESC 및 부품

세계 최초를 만드는 ICD의 ESC 및 부품 기술, 독자 공정과 양산 장비를 확인합니다.

VERTICALLY INTEGRATED

설계·제조·표면처리를 연결한 ESC 기술.

ICD Materials와의 수직계열화로 장비와 공정에 최적화된 ESC를 빠르게 개발하고 공급합니다.

DISPLAY ESC

Dry Etch Advanced ESC

대면적 식각 공정용 기판 고정·냉각 솔루션

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SEMICONDUCTOR ESC

Semiconductor ESC

반도체 공정용 기판 고정·다중 온도 제어 솔루션

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