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装置・技術

ESC・部品

ICDの世界初を支えるESC・部品独自技術、プロセス、量産装置をご覧ください。

VERTICALLY INTEGRATED

設計・製造・表面処理をつなぐESC技術。

ICD Materialsとの垂直統合により、装置・プロセスに最適なESCを迅速に開発・供給します。

DISPLAY ESC

Dry Etch Advanced ESC

大面積ドライエッチング向け基板固定・冷却
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SEMICONDUCTOR ESC

Semiconductor ESC

半導体向け基板固定・マルチゾーン温度制御
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