Research-Thermal Evaporator
Process
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Plasma Treatment/Organic,Metal Deposition/Encapsulation
Introduction
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Research-Thermal Evaporator는 소형 Glass의 Treatment/Organic, Metal Deposition Prcess에 특화된 장비 입니다.
Technology
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Research-Thermal Evaporator는 소형의 Glass에 Plasma Treatment/Organic, Metal Deposion/Encapsulation 공정을 통해 소형 Glass에 Deposit Full Auto Process를 시현해 소형 OLED Pannel을 제작 할 수 있는 특화 장비 입니다. 이 장비는 공정 변경 용이성으로 인해 Customer Needs에 따른 추가공정 구성이 용이합니다.
Features
- Glass Size : ~200X200mm
- Vacuum Range(HV) : E-7 Torr
- Vacuum Range(UHV) : E-8 Torr
- Organic Source Temperature : ~450℃
- Metal Source Temperature : ~1800℃
- Plasma Treatment Gas : N2, O2, Ar, ETC.
